金属材料基礎講座-133

研磨作業-1

 組織観察試料用に砥石などで切断した面や埋込をした直後の状態は見た目では平らですが、光学顕微鏡観察するためにはさらなる平滑面が求められます。研磨工程は専用の研磨盤やガラス板などの平らな面に研磨紙をセットして行われます。面出しでは試料と樹脂の凹凸をなくして平らにすることが求められます。使用する研磨紙としては目の粗い研磨紙を使用します。また、面出しで観察面が斜めになったり、ダレたりするのを防ぐためにダイアモンド粒子を使用した研磨盤もあります。また必要以上に目の粗い研磨紙を使用して、試料に大きなひずみを負荷しないことが重要です。面出しに使用する研磨紙としては鉄鋼材料であれば#180~240、アルミニウムなどの軟らかい非鉄金属材料であれば#400~600程度がよいです。

 研磨は主に研磨紙による研磨を指しますが、ダイアモンドディスクによる研磨も最近では行われています。研磨紙は日本とアメリカなどで規格が異なります。その仕様を表1に示します。研磨紙は様々な粒度のものがありますが、組織観察において#1500~#2000程度まで行います。軟らかい材料ではP4000などの研磨まで行うこともあります。

表1 研磨紙規格の比較表
アメリカ規格 ANSI/CAMI ヨーロッパ規格 FEPA 日本規格 JIS
No. サイズ(μm) No. サイズ(μm) No. サイズ(μm)
60 268 P60 269    
80 188 P80 201    
120 116 P120 127    
180 78 P180 78 #240 80
    P240 58 #320 57
240 52        
    P320 46    
        #400 40
320 24 P400 35 #500 34
    P600 26 #600 28
400 22 P800 22 #700 24
500 18 P1000 18.3 #800 20
600 15 P1200 15.3 #1000 16
UF-800 12 P1500 12.6 #1200 13
        #1500 10
UF-1200 6.5 P2500 8.4 #2500 6.8
    P4000 5.5 #3000 5