金属材料基礎講座-148

フォーカスとスティグマ調整

 SEM観察におけるフォーカス合わせとスティグマ調整について、ピントの合ったSEM像とピントのずれているSEM像の例を図1に示します。フォーカス、スティグマのどちらがずれていてもピントがぼけたSEM像になります。そのため、ピントがぼけているSEM像からフォーカス、スティグマ(x軸)、スティグマ(y軸)のどれがずれているか判断するのは難しいです。感覚的としては3つのフォーカスがあると考えて、任意の1つのフォーカスを大きく動かしておおよそのピントの合う位置を探します。これを残り2つに対しても行い、それぞれ最もピントの合う位置を求めることで修正します。一度スティグマのピントを合わせれば、試料の観察位置を変えても大きくピントがずれることは少ないです。